CVD Beschichten

Bei diesem Beschichtungsverfahren (die Abkürzung steht für die englische Bezeichnung Chemical Vapor Deposition) wird das zu beschichtende Werkstück in einer speziellen Kammer auf etwa 1000 Grad Celsius erhitzt. Um eine unerwünschte Oxidation der Werkstücke zu vermeiden wird die Atmosphäre in der Kammer durch ein Schutzgas ersetzt. Nun wird das metallische Beschichtungsmaterial in gasförmigem Zustand über die Werkstücke geleitet. Dabei reagiert das Beschichtungsmaterial mit der heißen Werkstückoberfläche und wird dort als Hartschicht abgeschieden. Verwendet wird dieses Verfahren zur Beschichtung von Werkzeugen mit Oxiden, Metallcarbiden und -nitriden, dabei sind auch mehrere dünne Lagen übereinander möglich.